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簡(jiǎn)要描述：SPV-60真空等離子清洗機(jī)通過(guò)對(duì)工藝氣體施加電場(chǎng)使電離化為等離子體。等離子體的“活性"組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子處理就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì)，從而優(yōu)化材料表面性能，實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
產(chǎn)品型號(hào)：SPV-60廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-09-16訪 問(wèn) 量：1732產(chǎn)品分類
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一、等離子體產(chǎn)品原理
SPV-60真空等離子清洗機(jī)利用兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)有效的真空度，隨著氣體越來(lái)越稀薄，分子之間的間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)的距離也越來(lái)越長(zhǎng)，受磁場(chǎng)作用發(fā)生碰撞而形成等離子體并產(chǎn)生輝光。等離子體在電磁場(chǎng)內(nèi)的空間運(yùn)動(dòng)，不斷轟擊被處理物體表面，去除表面有機(jī)污染物或其它雜質(zhì)，以此達(dá)到表面處理清洗、活化、刻蝕的效果。
行業(yè)應(yīng)用
1、陶瓷：封裝、點(diǎn)膠前處理；
2、手機(jī)行業(yè)：TP、中框、后蓋表面清洗活化；
3、PCB/FPC行業(yè)：孔內(nèi)鉆污及表面清潔、Coverlay表面粗化及清潔；
4、表面粗化蝕刻：PI表面粗化、PPS蝕刻、半導(dǎo)體硅片PN結(jié)去除、ITO膜蝕刻；
5、塑膠材料：Teflon特氟龍表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材質(zhì)清洗活化；
6、半導(dǎo)體行業(yè)：半導(dǎo)體封裝、攝像頭模組、LED封裝、BGA封裝、Wire Bond前處理；
二、產(chǎn)品介紹1、產(chǎn)品概述SPV-60真空等離子清洗機(jī)(Plasma cleaner)，氣體通過(guò)激勵(lì)電源離化成等離子態(tài)，等離子體作用于產(chǎn)品表面，清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強(qiáng)附著性能。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保、高效、穩(wěn)定的表面處理方式。
2、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
(1)低耗能、耗氣產(chǎn)品。
(2)便捷的收放板方式。
(3)真空系統(tǒng)集成，占地面積小。
(4)集成的控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，使操作更方便。
(5)合理的等離子反應(yīng)空間，使處理更均勻。
(6)水平電極設(shè)計(jì)，可滿足軟性產(chǎn)品處理需求。
(7)產(chǎn)品放置治具靈活多變，可適應(yīng)不規(guī)則的產(chǎn)品。
3、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)真空等離子體表面處理系統(tǒng)主要包括三個(gè)部分：真空腔及真空系統(tǒng)，等離子體發(fā)生器，控制系統(tǒng)。
（A）真空腔及真空發(fā)生系統(tǒng)真空腔固定于機(jī)柜框架內(nèi)，左右兩側(cè)為可拆門，因此內(nèi)部的真空腔及真空系統(tǒng)的維修是極方便的。真空發(fā)生系統(tǒng)由波紋管、KF接頭、真空泵以及油霧過(guò)濾器組成，核心部件真空泵（真空泵組）。
（B）等離子體發(fā)生器等離子體發(fā)生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓，產(chǎn)生低溫等離子體。利用高頻轉(zhuǎn)換技術(shù)形成高頻電壓加到電極板上，當(dāng)真空腔內(nèi)達(dá)到一定真空度時(shí)，產(chǎn)生等離子體放電現(xiàn)象，放電后電路會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)電壓到適當(dāng)值，保證電路正常穩(wěn)定放電。
（C）控制系統(tǒng)本系統(tǒng)使用MCGS觸摸屏、西門子PLC、中文界面。
設(shè)備的工藝流程控制：真空泵啟動(dòng)、擋板閥開啟、達(dá)到設(shè)定的真空度、通入工藝氣體、RF放電、工作時(shí)間到破真空工作完成，設(shè)備分自動(dòng)和手動(dòng)兩種方式。
| 真空等離子主機(jī) | ||
| 設(shè)備尺寸 | L950×W900×H1650mm | |
| 重量 | 350Kg | |
| 需求電源 | AC380V，50/60Hz，5線，16A（總空開選型為C型以上） | |
| 等離子發(fā)生器規(guī)格 | ||
| 電源功率 | 射頻 | 中頻 |
| 0~600W | 0-1000W | |
| 電源頻率 | 13.56MHz | 40 KHz |
| 真空系統(tǒng) | ||
| 真空泵 | 雙級(jí)旋片泵（油泵）：40m3/h | |
| 真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強(qiáng)度真空波紋管 | |
| 材質(zhì) | 鋁合金（可定制不銹鋼腔體） | |
| 厚度 | 25mm | |
| 密封性 | 軍工級(jí)焊接密封 | |
| 腔體內(nèi)部尺寸 | 375×375×430mm（寬×高×深） | |
| 電極板有效尺寸 | 247×281mm（寬×深） | |
| 可用空間間距 | 22mm | |
| 電極板布置方式 | 水平布置，可活動(dòng)抽取 | |
| 工作托盤 | 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選配(鋁材、鋼絲網(wǎng)） | |
| 工作空間 | 6層 | |
| 工藝氣體 | ||
| 流量范圍 | 0~300SCCM | |
| 工藝氣體氣路 | 標(biāo)配兩路，可定制。工藝氣體管路為鐵氟龍材質(zhì) | |
| 控制系統(tǒng) | ||
| 系統(tǒng)控制 | PLC | |
| 交互方式 | 7寸觸控屏幕 | |
5、設(shè)備尺寸圖紙
(1)主機(jī)尺寸圖紙
(2)等離子腔體圖紙
三、規(guī)格要求
1、廠務(wù)規(guī)格要求
| 廠務(wù)規(guī)格要求 | |
| 交流電源規(guī)格 | 電源：AC380V，50/60Hz，5線，16A（總空開選型為C型以上） |
| 廠務(wù)排氣 | 流量：2.0 m³/min |
| 廠務(wù)工作氣體要求 | 流量：1~10 L/min 壓力：3~7 kg/cm² 管徑：6×4 mm 材質(zhì)：PU管 純度：99.99%以上 |
| 廠務(wù)壓縮空氣要求 | 流量：1~10 L/min 壓力：3~7 kg/cm² 管徑：6×4 mm 材質(zhì)：PU管 露點(diǎn)：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft³ |
2、配置清單
| 配置清單 | |||||
| 序號(hào) | 名稱 | 型號(hào)和規(guī)格 | 數(shù)量 | 備注 | |
| 1 | 主機(jī) | SPV-60 | 1 | 臺(tái) | |
| 2 | 真空腔體 | 鋁合金真空腔體 | 1 | PCS | |
| 3 | 激勵(lì)電源 | 射頻電源 | 中頻電源 | 1 | 套 |
| 頻率：13.56MHz； 功率0~600W 全自動(dòng)真空電容匹配器 | 頻率：40KHz； 0~1000W; | ||||
| 4 | PLC | 德國(guó)西門子，S7-200 | 1 | PCS | |
| 5 | 觸摸屏 | 昆侖通態(tài)，七寸屏幕，TPC7072GI | 1 | PCS | |
| 6 | 流量計(jì) | 英國(guó)warwick品牌 | 2 | PCS | |
| 7 | 真空泵組 | 飛越雙級(jí)旋片泵（油泵）：40m3/h | 1 | 臺(tái) | |
| 8 | 真空計(jì) | 英福康 | 1 | PCS | |
| 9 | 說(shuō)明書 | SPV-60操作說(shuō)明書 | 1 | 份 | |
3、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
| 驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn) | ||
| 項(xiàng)目 | NO. | 內(nèi)容 |
| 硬件驗(yàn)收 | 1 | 設(shè)備清單驗(yàn)收 |
| 2 | 出廠報(bào)告 | |
| 3 | 說(shuō)明書 | |
| 性能驗(yàn)收 | 1 | 試用樣品進(jìn)行處理，處理效果和均勻性滿足客戶驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)或者合同協(xié)議要求。 |
| 穩(wěn)定性測(cè)試 | 1 | 連續(xù)10分鐘等離子清洗測(cè)試 |
| 2 | 試片水滴角測(cè)試 | |
| 驗(yàn)收日期 | 1 | 設(shè)備交付后 2 個(gè)月內(nèi)必須完成驗(yàn)收 |
4、損耗清單
| 損耗清單 | ||||
| 序號(hào) | 名稱 | 型號(hào)和規(guī)格 | 數(shù)量 | 壽命時(shí)間 |
| 1 | 真空泵過(guò)濾芯 | AF60 | 1PCS | 6個(gè)月 |
| 2 | 真空泵油 | A200 | 5L | 3個(gè)月 |
| 3 | 腔門密封圈 | Φ10 | 1PCS | 1年 |
注：耗材的使用壽命時(shí)間與現(xiàn)場(chǎng)的使用條件有關(guān)系，以上壽命時(shí)間僅供參考
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